产品详情
高频输出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）
电极尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
内槽
规格
| 型号 |
V1000 |
V1000X |
V1000XS |
| 等离子模式 |
DP/RIE |
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| 高频电源 |
13.56MHz |
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| 输出功率 |
Max1000W |
Max1000 & 1500W |
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| 有效电极尺寸 |
W280×D280mm |
W300×D300mm |
W400×D375mm |
| 电极 |
平行平板 |
2段电极（独立） |
平板（多目的） |
| 反应气体 |
聚合控制器2系统（填充气路另行安装） |
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| 真空泵（标配） |
约1000L/min |
约1500L/min |
1000 & 1500L/min |
| 安全装置 |
门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 |
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管路连接图
